准分子激光器相关论文
对光栅谐振腔实现线宽压窄的工作原理进行了分析,介绍了采用光栅谐振腔的长脉冲XeCl准分子激光器实验系统,实验获得了100mJ,0.5cm-......
多通道轨道开关技术是降低脉冲功率器件抖动的有效途径之一.本文介绍了该开关的结构、原理和主要实验结果以及在放电泵浦XeCl准分......
近年来,单矿物的微区原位同位素测试发展迅速,为探讨精细的地质过程提供了可靠的数据支持.天津地质调查中心实验室开展了单矿物微......
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采用波长248 nm的KrF准分子激光器,对Al2O3陶瓷片及玻璃片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律。同时研......
采用阴影法对高重复频率准分子激光器放电腔内的放电冲击波现象进行了实验研究,研究结果揭示了放电冲击波的产生以及演化过程。通......
分析了准分子激光器放电腔内放电冲击波能量来源的计算方法,利用Fluent软件对放电冲击波物理过程进行了二维仿真,揭示了300 μs内......
本文报道—台自制的光学投影亚微米量级微细加工用的KrF准分子激光振荡-放大系统,并对其设计和运转性能加以讨论.该系统在200Hz重......
准分子激光绝对波长校准技术中,参考中心波长位置抖动是影响校准精度的主要因素,寻峰算法是解决这类问题的有效途径。通过仿真和实......
从一台紫外预电离XeCl激光器中得到单脉冲能量～400mJ、平均功率22W的激光输出,其总体效率约2％。分析和实验测量表明,C-G能量转移效率......
本文报道了一台使用UV自动预电离,C-C转移放电泵浦的XeCl准分子激光器,并且以激光器放电信号和输出激光信号的同时测量结果为依据,......
报道了适用于大体积高气压短脉冲的准分子预电离脉冲X光源,着重对获得高强度快上升X光源的技术作了介绍,并给出其它性能的实验结果......
本文报道紫外预电离放电泵浦的高重复率XeCl准分子激光器的放电特性,分析了放电参数的改变对放电过程的影响.最佳转换效率达2.2%.......
光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量......
介绍了用于角膜放射状切开手术的准分子激光器和光束投射系统.得到宽0.14 mm长8 mm的狭缝光束.能量密度大于200 mJ/cm2.用Dove棱镜......
线宽压窄模块是光刻用准分子激光器的重要组成部分。线宽压窄模块中棱镜组及光栅的装配角度直接影响系统输出特性。为了进一步改进......
本文报道在XeCl准分子激光器中添加微量的氯苯(C_6H_5Cl)或四氯化碳(CCl_4),使激光输出能量提高约16％。......
近年来，光纤光栅凭借着其拥有插入损耗小、对外界环境扰动的反应精度高、耐腐蚀、制作简单等优势被用来制作各种高灵敏度传感器，在光......
传统准分子激光器智能控制系统的性能受到控制精度的影响,以提高准分子激光器智能控制系统的性能为目的 ,提出了基于嵌入式技术的......
准分子激光器的放电过程是一个复杂的非线性过程,从而导致基于放电动力学建立的激光器放电能量模型的精度很难达到仿真研究和控制......
准分子激光器是一种高重复率实用型的激光器。它输出能量大，平均功率稳定，工作寿命长。......
准分子激光技术的突破性进展经过二十年的发展，准分子激光器仍旧是功率最大的脉冲紫外激光器，它运用于金属和非金属材料的冷处理—消......
核泵浦Ｎｅ－Ｘｅ－ＮＦ＿３激光器阈值特性的计算引言很早就对惰性－卤素准分子激光器进行了研究［１～３］。今天它们是紫外波段最强的激光器。准分子激光器的最佳......
准分子激光器软Ｘ光辐射源Ｈ．Ｓｈｉｅｌｄｓ等人指出［１－４］，为使放电准分子激光器中的体均匀自持放电触发，必须具有起始电子密度ｎｅ≥１０６ｃｍ－３的气体预电离。若ｎｅ增大到１０９ｃｍ－３，放电......
脉冲辐射能量为５Ｊ的放电ＸｅＣｌ激光器的研究在研制用于放电准分子激光器的泵浦振荡器时，经常使用结构简单、以集中储存电容为基础的体放电双......
提出了准分子激光器阳极预电离方案，并在实验上证实了阳极预电离能有效地改善放电均匀性，同时使激光输出能量略有提高。......
通过线聚焦将自滤波振荡行波放大后的铜激光在ＢＢＯ晶体中倍频，当基频光功率为５．４Ｗ时，倍频效率达１４．４％。用铜激光倍频光进行接触式光刻，刻线分辨率优......
一、引言随着大规模集成电路(LSI)向着超大规模集成电路(VLSI)发展,即要求每一基片上集成十万个元件以上、一万门电路以上,对图象......
７ＭＯＰＡ激光放大系统的同步关联王孝君，汤秀章，单玉生，王乃彦同步关联系统是联接ＭＯＰＡ系统各关键单元的主动脉．该工作对ＭＯＰＡ系统能否正常运行至关重要。......
我们研制了一台用于光刻的ＫｒＦ准分子激光器（２４８ｎｍ），单脉冲能量２００ｍＪ平均功率５～９Ｗ，能量不稳定度＜土５％，脉宽３５ｎｓ，线宽０．５２ｎｍ，重复频率０．５～１００Ｈｚ，单次充气寿命＞５×１０５次脉冲数，储气寿命约一个......
在放电泵浦ＸｅＣｌ准分子激光器上，对放大率Ｍ从１．８０到２０．５６共六种虚共焦非稳腔在放电电压为２０ｋＶ下的水平、竖直方向的束散角θ＿（１１Ｍ）．θ＿（⊥Ｍ）进行了系统的实验研究，并......
在一台长脉冲放电泵浦ＫｒＦ准分子激光器上，对采用腔内倾斜标准具法压缩线宽进行了研究．采用平行平面腔结构，在谐振腔中加入小孔光阑以控制......
本文介绍了用于准分子激光器中的磁脉冲压缩开关的原理和结构，分析了磁脉冲压缩开关在激光器激励电路中的工作过程，并且给出了实验结......
报道了几种国产阶跃型纯石英光纤在传输ＸｅＣｌ（３０８ｕｍ）准分子激光时的损耗特性及其破坏阈值的实验研究结果，同时也报道了这些光纤的弯曲损耗和弯曲......
介绍准分子激光器中的脉冲磁压缩开关的设计，并研制出ＫＷ级小型磁开关，取得与理论计算较吻合的实验结果。
This paper introduces the ......
日本东京日立有限公司的中心研究实验室正在研究1—G bit动态随机存取存储器线路的光刻技术.超大规模集成线路制造技术的发展取决......
《ФＯＴＯＨ》系列通用型脉冲激光器目前，稠密气体脉冲激光器广泛用于科学和技术的各个领域。在进行研究时，希望激光器的工艺结构尽量简单，可......
松下技研与准分子激光器的大厂商人物理公司签订了设计高性能准分子激光器的共同开发合同。共同开发的激光装置是短波紫外光源，可在......
